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在气象行业中,湿度是一个非常重要的指标。山林,农田,海港气象站都要对湿度进行测量。此外湿度测控在气象预报,医疗卫生,食品加工等行业都有广泛的应用。
湿度传感器依据所使用的材料不同,分为电解质型,陶瓷型,高分子型和半导体型等湿度传感器。从性能的总体来看,无论哪一种材料制成的传感器,都有它各自的特点,既有长处,也有短处,他们分别能满足某些地方的要求。
电解质型:以氯化锂为例,它在绝缘基板上制作一对电极,涂上氯化锂盐胶膜。氯化锂极易潮解,并产生离子电导,随湿度升高而电阻减小。
陶瓷型:一般以金属氧化物为原料,通过陶瓷工艺,制成一种多孔陶瓷。利用多孔陶瓷的阻值对空气中水蒸汽的敏感特性而制成。
高分子型:先在玻璃等绝缘基板上蒸发梳状电极,通过浸渍或涂敷,使其在基板上附着一层有机高分子感湿膜。有机高分子的材料种类很多,工作原理也各不相同。
单晶半导体型:所用材料主要是硅单晶,利用半导体工艺制成。制成二极管湿敏器件和MOSFET湿度敏感元件等。其特点是易于和半导体电路集成在一起。