全自动四探针电阻测量测试仪晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量；选择性发射极扩散片；表面钝化片；交叉指样PN结扩散片；新型电极设计，如电镀铜电阻测量等；半导体材料分析，铁电材料，纳米材料，太阳能电池，LCD，OLED，触摸屏等.

1.电阻

10^-5～2×10^5Ω

2.方块电阻

10^-5～2×10^5Ω/□

3.电阻率

10^-6～2×10^6Ω-cm

4.测试电流

0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，10mA，100mA

5.电流精度

±0.1%

6.电阻精度

≤0.3%

7.PC软件操作

PC软件界面：电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱、压力、报表生成等

8.压力范围：

探针压力可调范围：软件控制,100-500g可调

9.探针

针间绝缘电阻：≥1000MΩ；机械游移率：≤0.3%

圆头铜镀金材质，探针间距1mm；2mm；3mm选配，其他规格可定制

10.可测晶片尺寸选购

晶圆尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；

方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

11.分析模式

单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试

12.重复性

测量重复性：重复性≤3% 

13.防护功能

具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报

14.电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W

15.选购项目

电脑和打印机